超高真空鍍膜機的表面處理有哪些工藝

超高真空鍍膜機的清洗處理是非常重要的，鍍膜機的清洗處理是否到位，將直接影響到極限真空環境的獲得。使用良好的清潔處理工藝比之一般的清洗處理工藝，其設備材料的出氣率要低了幾個數量級。

比如說不銹鋼材料的真空設備，它長期不斷在大氣中暴露，不進行任何清洗、去油處理、烘烤處理的話，其在抽氣一小時后約為2x10?3[Pa·m3/（s·m2）］的出氣率；若做了去油處理，不做烘烤處理，其在抽氣四小時后可到1 x 10??[Pa·m3（s· m2）］的出氣率；如果去油后，再做清洗，又在250oC的溫度之下烘烤十五個小時的話，即可降到1 X 10??[Pa·m3/（s·m2）］的出氣率，可以發現，其出氣率下降了近五個數量級之多。

真空設備可以做烘烤處理，對超高真空環境的獲得來說，真空烘烤是不可缺少的工藝。一套合格的真空設備的設計，若少了烘烤措施，也沒有其它相關措施的處理的話，那么不管配置任何類型的真空泵（如擴散泵、低溫泵、濺射離子泵、渦輪分子泵等）做抽氣處理，最終獲得的工作壓力也就大概在10??Pa-10??Pa這個數量級之間，頂多可達極限真空10??Pa的量級，想要再高的真空度那就是天方夜譚。

針對于不銹鋼，加速出氣的方法有兩種是最有效的：

1、在400oC溫度下的空氣中烘烤；

2、在800oC-950oC下的真空環境烘烤。

烘烤處理工藝需要在2700Pa壓力下的純氧環境中進行，才能減少烘烤過程中存在水蒸氣影響到材料表面的可能，此外，還需明確真空烘烤應在10??Pa下進行，才能讓材料中的氫濃度降低到我們需要得到的限度。

超高真空鍍膜機在烘烤時應注意溫度的控制，不同種類的材料的烘烤溫度不一樣：普通金屬材料的溫度控制范圍在300oC-450oC之間；非金屬材料是在80oC-100oC溫度范圍的控制；玻璃材料在140oC-300oC的溫度范圍之間控制；銅墊圈的烘烤溫度控制在450oC之內；金屬陶瓷密封烘烤溫度不應超過400oC。