真空鍍膜機的優點及其用途
發布日期：2018-11-17
現有的真空鍍膜機，主要用于一些放氣量較少的普通玻璃上鍍膜，由于大面積有機玻璃放氣量較大，熱變形溫度低，剛性低，因此現有的真空鍍膜機無法鍍制大面積有機玻璃?，F有的鍍膜機蒸發源間呈正方形分布，這樣鍍出的膜層均勻性差，無法保證大面積有機玻璃在鍍制過程中不變形。
為了克服現有技術之不足，提供一種真空鍍膜系統，本系統由真空鍍膜系統和真空手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。
蒸發鍍膜與真空手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、等工藝全封閉制作，使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環境中不穩定因素影響，保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。
真空鍍膜系統用途：主要用于太陽能電池鈣鈦礦、OLED和PLED、半導體制備等實驗研究與應用。
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